如果成功，EUV🆎🇲🇵 光刻机最昂贵的核心部件🇹🇯。
在设备集成上，FEL 是中央化光源，一台 FEL。
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如果成功，EUV🆎🇲🇵 光刻机最昂贵的核心部件🇹🇯。
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